강의계획서
| 교과목코드 | JKA01305 | 교과목명 | 반도체공정실습 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체시스템공학과 | 교수 | 윤중림 |
| 교수소속 | 반도체공학부 | 이수학년 | 3학년 |
| 과목구분 | 이론 및 실습 | 과정구분 | |
| 이메일 | jry1201@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 본 과정 소개, 클린룸 소개, 팹 투어, 3월 10일 |
| 2주차 | 진공(VACUUM) 실습, 3월 17일 |
| 3주차 | 플라즈마(PLASMA) 실습, 3월 24일 |
| 4주차 | 화학기상증착(CVD) 실습, 3월 31일, 전문가 초대하여 강의 및 실습 예정 |
| 5주차 | 물리적기상증착(PVD) 실습, 4월 7일 |
| 6주차 | 사진(Photolithography) 실습, 4월 14일, 전문가 초대하여 강의 및 실습 예정 |
| 7주차 | 식각(Etching) 실습, 4월 21일 |
| 8주차 | 개별적으로 실습 주제 중 1건을 선택하여 요약 발표(발표시간 : 10분 내)(중간고사 대체), 4월 28일 |
| 9주차 | 측정 실습(3D PROFILER 등), 5월 8일(공휴일) 보강 일을 5월 9일로 예상하며 추후 학생들과 협의 예정, 전문가 초대하여 강의 및 실습 예정 |
| 10주차 | 측정 실습(SEM 등), 5월 12일, 전문가 초대하여 강의 및 실습 예정 |
| 11주차 | 프로젝트 설명 및 프로젝트 수행을 위한 run sheet 작성 실습, 5월 19일 |
| 12주차 | run sheet 작성 순서에 따른 공정 수행 1, 5월 26일 |
| 13주차 | run sheet 작성 순서에 따른 공정 수행 2, 6월 2일 |
| 14주차 | 공정 수행한 프로젝트 결과물에 대한 측정 수행 및 토의, 6월 9일 |
| 15주차 | 조별 프로젝트 결과 발표(발표시간 : 30분 내)(기말고사 대체), 6월 16일 |
| 16주차 |