연구업적
지적재산권 (최근 3년간의 실적)
테이블 이름 - 년도 및 제목
년도
제목
2025-02-04
PEALD와 INHIBITOR를 활용한 DRAM 캐패시터용 고유전율 절연체 증착 방법
2024-12-19
단일 도메인으로 구현되는 대면적 반도체 소자 및 이를 제조하는 방법
2024-12-18
PEALD와 inhibitor를 활용한 DRAM 커패시터용 고유전율 절연체 증착 방법